크린룸의 등급은 미항공우주국 NASA에서 정한 것으로 1입방피트당 직경이 0.5μm 이상인 분진 누적갯수를 등급으로 정하였습니다. 그 분류는 예를들어 Class 10, Class100 등으로 나타내며 Class100은 누적갯수가 100개가 있다는 뜻입니다. Class100 이하의 추청정크린룸의 경우 0.1μm의 입자를 청정도로 나타내기도 하며 Class당 입자수의 상한치는 아래의 표를 참고하시기 바랍니다.

먼지입자수에 대한 규정

미생물의 균수에 대한 규정

적용부문별 크린룸의 분류

- ICR : 산업용크린룸(INDUSTRIAL CLEAN ROOM)

- MCR : 의학용크린룸(MEDICAL CLEAN ROOM)

- BCR : 생물학적크린룸(BIOLOGICAL CLEAN ROOM)-BSL3 & 4 ROOM 등

양압(+)과 부압(-)의 적용조건

- 양압유지조건 : 전자 및 정밀기계 그리고 반도체크린룸등 실내의 공기가 외부로 유출되어도 외부에 위험을 주지않는 경우는 외부유입공기량을 증가시켜 실내의 압력을 외부보다 높여 오염물질이 유입되지않토록 유지

- 부압유지조건 : 위험균을 취급하는 BSL3실이나 항생물질,유해가스,유전공학실등 실내의 물질이 외부로 유출되면 위험한 경우에는 실내의 배기량을 늘려 부압을 유지함으로써 내부공기가 외부로 유출되는 것을 방지

GMP GLP기준의 적용

- GMP(Good Manufacturing Practice) : 세계보건기구에서 규정한 우수의약품제조 및 관리에 대한규정으로 제약회사에 일반적으로 적용

- GLP(Good Laboratory Practice) : 식품의 첨가물 또는 의약품등의 안전성을 확보하기 위한 동물실험등을 행하는 임상실험전에 미국식품안전청에서 동물과 인체로부터 위험한 동물의 격리와 서로간의 오염방지에 관한 기으로 일반적으로 실험동물실에 적용

크린룸의 기본원칙

- 미립자침투방지 : 필터를 통과한 급기 및 실내를 양압유지/샤워등 최대한 내부로의 침투방지

- 미립자의 제거 : 실내에서 발생하는 먼지등을 고효율필터를 사용해 연속환기함으로서 미립자제거

- 미립자집적방지 : 실내에서 발생한 미립자등이 구석이나 바닥 또는 설비에 집적되면 2차 오염원이 되므로 방지

- 미립자발생방지 : 실내에서의 작업 또는 의복에 부착된 먼지등이 실내에서 비산되므로 입실전 제거하고 실내에서 발생하지 않토록 크린룸 입실준수사항을 지속적으로 관리

- 실내환경의 유지 : 실내의 온도나 습도가 기준치로 유지되지 않으면 작업환경의 악화와 더불어 미립자의 정전기등에 의한 대전등 먼지발생 및 부착의 원인이 되므로 실내환경에 유의

크린룸의 시공 (수직층류방식의 예)

Vertical Laminar
Flow Clean Room시공도

System Ceiling : 천정면에 CHANNEL을 취부하여 AL.Mould Ral 행거로 고정하여 Blind Panel 및 FFU를 취부합니다.

Local Control Unit : 각각의 FFU본체에 설치 운전/기동 및 이상신호를 감시반에 전송

Multi Control Unit : LCU수가 다량인 경우 GROUP화해 감시반에 보내는 중계기기능을 설치합니다.

Blind Panel : FFU가 설치되지 않는 천정면의 마감재입니다.

조명기구 : Tear Drop Light System Ceiling하부에 취부합니다.

Wall Partition : 크린룸내부의 구획을 정하는 판넬을 AL.Mould 사용해 설치

Filter : ULPAL HEPA Filter를 FFU에 취부합니다.

Plenum Chamber : 환기 및 공조급기풍도가 되는 측상단부를 분진발생이 없도록 크린판넬로 시공합니다.

Main Control Board : 각각 또는 그룹별로 제어 및 이상유무를 확인할 수 있는 주제어반을 별도위치에 설치합니다.

시스템공조 : 공조된 공기를 실내청정도유지 공기에 혼합해 환경제어

Access Floor : 기류분포를 고려해 형태를 선택합니다.

계수법

시험 Air Filter의 정격 풍량으로 풍량을 조정하고, 시험 Filter 상류의입자개수(CI)와 Fitler 하류의 입자개수(C2)를 측정하여 효율을 표시하는 방법 (적용 Filter = ULPA: 0.1μmHEPA 0.3m)
(DOP 측정법, 대기진 측정법, PSL 측정법, DEHS 측정법 등)

비색법

시험 Air Filter의 정격 풍량으로 조정하고, 시험 Filter 상류에 표준분진을 투입하여 여재(Media)의 색깔변화를 비색계를 이용 비교 측정하여 효율을 표시하는 방법
(ASHARE 52-76) C1: 공급한 표준 분진의 양 (g) C2 : Filter가 포집한 분진의 양 (g)

중량법

시험 Air Filter의 정격 풍량으로 풍량을 조정하고, 시험 Filter 상류에 표준량의 분진을 투입하여 시험 Filter가 포집한 분진의 양을 비교하여 효율을 표시하는 방법
G1: 공급한 표준 분진의 양 (g) G2 : Filter 가 포집한 분진의 양 (g)

압력손실측정

시험 Air Filter의 정격 풍량으로 풍량을 조성하고, 시험 Filter 상류의 압력(PI)과 시험 Filter 하류의 압력(P2)을 측정하여 표시함.

Leak Test법

시험 Air Filter에 면속 0.4~0.5m/sec로 풍량을 조정하고 상류에 분진을 투입하면서 Filter의 하류에서 Particle Counter 기계를 이용 PROBE 를 일정 속도로 이동하면서 여재의 손상이나, Filter Frame과 여재의 접착상태를 확인 Test하는 방법